· 干涉仪：平面/圆柱/曲率测量（CX≤700，CC≤1000 ）

– RMS简单重复性<0.06nm，λ/ 10,000（2σ）

– RMS波前重复性<0.35nm，λ/ 1,800（mean +2σ）

– 峰值像素偏差<0.5nm，λ/ 1,200（99.5％）

– 瞳孔聚焦范围4英寸

· 三维测量设备：平行度/平面图/垂直度/圆度的测量

– 分辨率（um）：标准0.5，高精度0.1

– 最大允许：标准3.5 + L / 300、3.5，高精度3.0 + L / 300、3.0

· Prism Master：角度测量

– 光电自准直仪：EFL 300 mm，直径57mm

– 光电自准直仪的精度：分辨率0.01；重复性±0.1

· 表面粗糙度测量：表面粗糙度测量（Ra）

– 可测量10x，50x，100x

– 垂直扫描范围

– 150um，扩展扫描范围至20mm

– 垂直分辨率<0.1mm

– 横向分辨率0.36至9.50 um

– RMS重复性<0.01nm

· 光谱仪：透射率/反射率（绝对反射）/吸光度的测量

– 波长范围190〜2800nm / 250〜2500nm（使用自动偏振器）

– 透射率0到85度

– 反射率5到85度

– 测量误差（重复10次）测量值）<0.1％

· Mahr LD260：平面/非球面/圆柱体/形状和粗糙度的

– 测量–探头测量范围

（1）13mm（100mm探头臂）

（2）26 mm（200mm探头臂）

– 驱动器X轴不确定度：±0.2 * L.1000 ）um

– 测量时间： 5〜10 分钟

– 测量范围/分辨率（Z轴）13mm / 0.8nm

– 测量范围/分辨率（X轴）0.1-260mm / 0.8nm

– 最小测量距离（X轴）0.05- 30um

– 定位精度：0.1um

· ASI：平面/非球面/曲率（CX550 / CX700）的测量

– 重复性≤10nm（λ/ 60）rms

– 再现性≤20nm（λ/ 30）rms

– 精度≤30nm（λ/ 20）rms

– 可测直径≤300mm